电子级乙硼烷合成技术突破
2025-05-06
电子级乙硼烷，又称电子级硼化氢或电子级硼烷，是一种在半导体工业中具有广泛应用前景的高纯气体。其分子式为BH6，在常温下为无色有毒气体，具有令人作呕、窒息的气味，且很不稳定，在空气中能自燃，遇水会激烈分解放出氢气。尽管性质活泼，但电子级乙硼烷在半导体工业中扮演着不可或缺的角色，它可用作硅和锗外延生长、纯化、扩散和离子注入过程的“P”型杂质掺杂源，是半导体制造过程中的关键材料之一。
然而，电子级乙硼烷的生产技术长期以来一直面临诸多挑战。其中，关键的问题在于如何获得高纯度的电子级乙硼烷。传统的合成方法往往难以达到所需的纯度标准，导致产品在应用中性能受限。因此，开发一种高效、可靠的电子级乙硼烷工业合成技术显得尤为重要。
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